1. 卧式原子力显微镜探头,发明专利,03116339.42006222授权. 1/2
  2.  液相原子力显微镜探头, 发明专利号, 03116763.220051221授权. 1/3
  3. 双元原子力显微镜检测头,发明专利, ZL03116770.5, 200522授权. 3/3
  4. 一种光热驱动微马达,发明专利, 200510061900.8, 2009429授权. 1/3
  5.  一种三维微结构制备成型方法及系统, 发明专利, 200610050674.8, 2009429授权. 3/3
  6.  一种微型光热驱动的控制方法及装置,发明专利,200810059499.8,2010年2月3日授权. 3/3
  7. 大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置,发明专利,200910100818.X,2011年1月5日授权.1/3
  8.  基于多空氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法,发明专利,201110022837.9, 2012年5月2日授权,1/3
  9. 一种金属光热驱动微开关及其制作方法, 发明专利,201110022876.2, 2012年9月19日授权,1/5
  10. 一种超高分辨率的光学显微成像方法及装置, 发明专利,201010516545.X, 2012年8月29日授权,3/3
  11.  一种双管扫描联动跟踪型原子力显微探测方法及系统,发明专利,201210192166.9,2013年12月4日授权,1/4
  12. 一种激光诱导表面波马达及其驱动方法, 发明专利,201110295658.6, 2014年4月16日授权,3/3 
  13. 一种实时颜色动态调控微器件及其制备和调控方法, 发明专利,201210209387.2, 2014年11月12日授权,1/5
  14. 一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置, 发明专利,201210192186.6, 2014年5月21日授权,3/4
  15.  基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像方法及系统, 发明专利,201210209374.5, 2014年10月8日授权,3/4
  16. 基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法, 发明专利,201310008735.4, 2015年3月28日授权,1/5
  17. 利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置,发明专利,201510259584.9,2017年3月1日授权,1/11