1. 大面积高透射率减色滤波器研究,国家自然科学基金,2015.1~2017.12,负责
  2. 无序合金结构和性能表征的新方法和新技术,国家重点基础研究发展计划(973)子课题,2012.05~2017.05,负责
  3. 基于同步辐射LIGA技术的微纳驱动器件制备及其驱动新方法研究,国家自然科学基金,2012.01~2014.12,负责
  4. 激光光致热塑膨胀效应及三维微结构制备成型新方法研究, 国家自然科学基金,2008.01~2010.12,负责
  5. 利用同步辐射LIGA技术开展光热微驱动器的研究和应用,浙江省自然科学基金重点项目,2011.01.01~2013.01.01,负责
  6. 大尺寸大范围高分辨AFM技术研究,重大横向项目,2010.10~2013.10,负责无序合金材料同步辐射研究,国际合作项目,2010.03~2012.12,负责 
  7. 用于纳米力学和机械性能测量的SPM技术及系统,重大横向项目,2006.072008.12负责
  8. 微纳米尺度光热驱动技术与新型光热驱动机构研究,国家863课题,2006.12~2008.12,副组长
  9. 用于纳米计量的双元原子力显微镜技术。横向项目,2005.03~2006.03 ,负责