孙一军
博士
研究员、求是特聘学者
浙江大学微纳加工中心常务副主任
- sunyijun@zju.edu.cn
- 玉泉校区微电子楼211室
-
- 微纳加工中心是浙江大学“十三五”规划重点建设工程之一，校级微纳加工平台，总投资1亿元人民币。实验室总面积1200平方米，其中百级洁净区200平方米、千级洁净区800平方米；拥有先进的微纳加工及测试设备，包括美国VEECO分子束外延MBE、美国DENTON溅射SPUTTER、英国OXFORD感应耦合等离子体干法刻蚀ICP、德国SUSS紫外光刻Ultraviolet Lithography、德国HEIDELBERG激光直写Laser Direct Writing、德国RAITH电子束光刻EBL、法国SET键合机Flip Chip Bonder、日本东横高温氧化炉、美国KJLC原子层沉积ALD、捷克SVCS低压化学气相沉积 LPCVD等。研究方向：微纳加工技术、MOCVD技术、MBE技术、芯片制造工艺、宽禁带半导体材料与器件。