机械工程学院苏芮 - 集成电路制造超洁净流控-浙江大学个人主页

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更新时间：2024-11-20

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苏芮博士

“百人计划”研究员 | 博士生导师

单位

机械工程学院

二维码

邮箱 srhello@zju.edu.cn
地址紫金港校区开物苑4幢202室
研究方向
- · 高端IC装备超洁净流控系统极微污染行为机理
- · 超纯氟树脂工件超洁净制造技术