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浙江大学
更新时间
:2024-11-29
总访问量
:3988
申英男
博士
百人计划研究员
|
博士生导师
单位
机械工程学院
电话
0571-88206490
邮箱
shenyingnan@zju.edu.cn
地址
浙江大学紫金港校区开物苑5幢202
研究方向
·
集成电路设备与零部件
·
高精密超洁净流体控制
·
面向半导体制造的极微污染物检测与控制
个人简介
教学与课程
研究与成果